【真空腔體】真空腔體加工的檢漏方法

　　真空腔體加工檢漏主要有三種：氦質(zhì)譜檢漏，真空封泥檢測法，真空計檢漏法。

　　一、氦質(zhì)譜檢漏

　　在真空檢漏中有許多使用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規(guī)、收集器組成的質(zhì)譜室和抽氣體系及電氣等部分組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振動，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互磕碰使其電離成正離子，這些氦離子在加快電場效果下進入磁場，在洛倫茲力的效果下偏轉(zhuǎn)，進而形成了圓弧形軌道，改變加快電壓可使不同離子經(jīng)過磁場和接納縫到達接納極而被檢測到。其間呢，噴氦法和吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏常用的兩種辦法。

　　二、真空封泥檢測法

　　用真空泥封住可疑的漏點，此時要注意觀察真空度的變化，如果貼上真空泥之后真空度上升較快，拿掉之后又會下降，這說明便是一個漏點哦。但是，這個辦法在實踐檢測中用的比較少。

　　三、真空計檢漏法

　　部分真空計的讀數(shù)與氣體種類有關(guān)，例如電離真空計，熱偶計。用氣體或許液體做示漏物質(zhì)，這些真空計就成了探測器，一般鍍膜機上都會有真空計，在實踐使用中也是比較常用的檢漏辦法。熱偶計的示漏物質(zhì)有二氧化碳，丁烷，酒精等，熱偶計的反響比較慢，要仔細觀察。用于電離計的示漏物質(zhì)主要有氦，氬，酒精等。